Доцент, кандидат технических наук

Ауд.: 108-1
Тел.: 293 80 26
E-mail: degagrs@mail.ru

Читаемые курсы:
– Молекулярная электроника – Микро- и наномеханические устройства – микроэлектроника и микросхемотехника – полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы, испытание и исследование полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Основные публикации:
1. Gran’ko S.V., Komarov F.F., Leontyev A.V. Masking process optimization for ion implantation in CMOS-technology of the VLSI// VI International Conference on Modification of Particle Beams – Feodosiya, Ukraine. – 2001. P.134
2. Gran’ko S.V., Komarov F.F., Leontyev A.V. Depth distribution of B and F atoms in the S1813 photoresist films irradiated by BF2+ molecules// In: 19-th Intern. Conf. On Atomic Collisions in Splids. Paris, 29 July – 3 Aug/. 2001. P.144
3. Гранько С.В., Емельянов В.А., Леонтьев А.В. Оптимизация толщины фоторезестивных масок в КМОП-технологии // Материалы III International symposium “New electrical and electronic technologies and their industrial implementation”, Zakopane, Poland, May, 13-16, 2003. C.84-86.
4. Гранько С.В., Борисенко В.Е., Турцевич А.С. Возможности и проблемы во взаимодействии ВУЗа с предприятиями в совместной подготовке инженерных кадров на примере БГУИР – ОАО «Интеграл». Материалы V Международной научно-практической конференции « Высшее техническое образование: проблемы и пути разыития». – Минск 2010