800x600

Print FullPage 9,05 пт 9,05 пт false false false RU X-NONE X-NONE MicrosoftInternetExplorer4 /* Style Definitions */ table.MsoNormalTable {mso-style-name:"Обычная таблица"; mso-tstyle-rowband-size:0; mso-tstyle-colband-size:0; mso-style-noshow:yes; mso-style-priority:99; mso-style-parent:""; mso-padding-alt:0cm 5.4pt 0cm 5.4pt; mso-para-margin:0cm; mso-para-margin-bottom:.0001pt; mso-pagination:widow-orphan; font-size:10.0pt; font-family:"Times New Roman","serif";}

Базовые технологические процессы интегральных схем. Метод. указания по  дисциплине «Маршрутная технология интегральных и больших гибридных интегральных схем, датчики и сенсорные устройства» (раздел «Базовые  технологические процессы интегральных схем) для студ. спец.I-42 01 02 «Микро- и наноэлектроника, технологии и системы» заочной и дистанционной формы обуч./ Сост. Ю. А. Родионов – Мн.: БГУИР, 2007. – 18с.: ил.